主办单位:中国电子器材有限公司
推荐单位:江西熙睿展览有限公司
举办时间:2025-04-09 到 2025-04-11
举办周期:一年一届
所属行业:
举办地点: 深圳会展中心
参展范围1.MEMS 加工设备:薄膜成形(汽相淀积、溅射、CVD、覆镀;曝光系统、蚀刻技术;防腐处理;刻蚀;晶圆键合;切割;芯片/导线焊接;封装;微成形 (注射, 热压);其他生产设备等;2.半导体材料:单晶硅、硅片、锗硅材料、S01材料、太阳能电池用硅材料及化合物半导体材料、石英制品、石墨制品、防静电材料等;3.半导体设备:半导体封装设备、半导体扩散设备、半导体焊接设备、半导体清洗设备、半导体测试设备、半导体制冷设备、半导体氧化设备等;4.分析与检测仪器:光罩缺陷检测、封装检测、表面分析仪器、粗糙度仪、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统;显微镜:光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪;检漏仪器、静电负离子空气净化机;气体分析及检测、分析和测量系统等;5.软件建模:设计工具、仿真软件、CAD & CAE分析软件等;6.MEMS 代工服务:仿真设计、原型测试、产品开发、量产;其他代工服务:图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀等;7.材料:压电薄膜材料(ZnO, AIN, PZT)、抗压材料、附着材料、保护材料;碳纳米管、蓝宝石、聚合物、陶瓷;LTCC 基板Glass substrate、SiC;磁性材料、铁电性材料等;8.生物技术与医疗应用:MEMS 在医疗处理及诊断方面的应用、DDS、纳米胶囊;尖端DNA & RNA 技术、微反应器、微流引导等;9.MEMS 器件:光学MEMS (反射, 光量开关, 扫描等);射频MEMS (开关,振荡器,过滤);MEMS物理传感器 (加速传感器,速率传感器,压力传感器,气体传感器,温度传感器);微射流(微流引导,微感应器等);MEMS执行器(灯,泵);MEMS电能(燃料电池,微发电机等);生物/化学MEMS(DNA/RNA技术,化学检测等);高复合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一体化)等
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